Calibre Yield Analyzer

Начиная с технологических норм примерно в половину длины волны света верификация DRC оказывается недостаточной для получения кристалла с приемлемым выходом годных. Все большее значение приобретают так называемые DFM правила, которые учитывают возможные отклонения при воспроизведении топологии в процессе фотолитографии. Прогон физической верификации с учетом всего множества DFM правил, рекомендуемых фабрикой, приводит к огромному количеству нарушений на выходе, которые можно наблюдать с помощью Calibre RVE или Calibre DESIGNrev. Задачей Calibre Yield Analyzer является анализ всего множества нарушений и определение критических областей, в которых данные нарушения оказывают наибольшее математически взвешенное влияние на выход годных. В дальнейшем именно эти нарушения должны быть скорректированы для повышения выхода годных, в то время как оставшаяся часть не оказывает существенного влияния. Calibre Yield Analyzer поддерживает форматы GDSII, OASIS, MilkyWay, Open Access и может работать напрямую с маршрутами проектирования от других поставщиков.

yield_analyzer.png