Calibre MPC

Для коррекции фотошаблона в семействе Calibre существует целое семейство пакетов на основе правил и моделей, позволяющих скорректировать систематические ошибки фотолитограии и добиться того, чтобы размеры элементов оставались в пределах спецификации.

Calibre MPCpro
Приложение предназначено для коррекции фотошаблона на основе заданных правил эффектов линейности, сквозного смещения, закоротки концов линий и общей плотности слоя.
Calibre nmMPC
Коррекция дозы и геометрии фотошаблона на основе моделей дозировки, экспозиции, параметров резиста и технологического процесса.
Calibre MPCverify
Верифицирует результаты коррекции фотошаблона на основе библиотеки моделей.

Более подробную информацию о конкретных продуктах можно получить по запросу