Calibre MDP

Инструменты пакета Calibre для подготовки фотошаблона позволяют верифицировать и преобразовывать формат данных маски фотошаблона. Calibre MDP это полный маршрут для создания и верификации маски, с возможностью иерархической обработки геометрий и проверки правильности создания маски.

Calibre FRACTURE
Приложение экспортирует данные непосредственно в форматах для производства фотошаблона. Поддерживаются форматы MEBES, JEOL, Micronic, NuFlare VSB and MBF, OASIS.MSK, OASIS.MBW.
Calibre MDPverify
Верифицирует выходные файлы фотошаблона на соответствие исходным GDSII и OASIS. Позволяет отследить изменения вплоть до выходных файлов фотошаблона.
Calibre MDPview
Обеспечивает просмотр данных в форматах GDSII и OASIS, а также в выходных форматах фотошаблона.
Calibre MASKOPT
Приложение позволяет снизить стоимость и время изготовления фотошаблона за счет предварительной обработки на этапе разбивки данных для экспорта в формат фотошаблона.
Calibre MDPmerge
Обеспечивает возможность слияния областей при разбивке данных в формате NuFlare VSB11
Calibre MAPI
Приложение расширяет программный язык Tcl, встроенный в Calibre MDPview, вводя специальные функции экстракции и валидации информации о фотошаблоне для метрологических операций.

Более подробную информацию о конкретных продуктах можно получить по запросу