|
|
|
|
|
|
Иллюстрации
|
|
|
|
|
|
Calibre MDP
|
|
|
|
|
Описание
|
|
|
|
|
|
Обеспечивает трансляцию данных коррекции, полученных от модулей повышения разрешающей способности OPC, PSM и SB, в формат записи маски за один запуск в пакетном режиме.
Интегрирует процессы физической верификации и повышения разрешающей способности с процессом генерации маски.
|
|
|
|
Возможности
|
|
|
|
|
|
Поддерживает максимальную скорость записи маски
|
|
|
Позволяет оперативно оценить технологичность проекта, не останавливая полностью процесс генерации маски
|
|
|
Обеспечивает коррекцию точности маски (MPC) путем контроля заданных правил
|
|
|
Дает возможность визуально оценить и верифицировать результаты
|
|
|
|
Файлы
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Ссылки
|
|
|
|
|
|
|
|
|
 |
|
